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技術(shù)論壇

Metal Etching制程廢氣由氣體變固體時(shí),產(chǎn)生生成物的累積,造成Exhaust Piping阻塞及增加PM loading,如何改善?

對(duì)策1):加裝Heating Jacket,避免廢氣冷凝。

對(duì)策2):氣體管路增加Hot N2 system。